Boor11 -trikloridi puolijohde lisäaineen puolijohde kuiva syövytys
Tuotteen esittely
Normaalissa lämpötilassa ja paineessa booritrikloridi (BCL 3 ) on väritön savukaasu, joka on syttyvä, pistävä, hapan haju. Booritrikloridi hajoaa suolahapon ja boorihapon ja vapauttaa paljon lämpöä kohdistuvaa vettä, se tuottaa savun märkäilmassa hydrolyysin takia ja BCL 3 hajoaa suolahapon ja boorihappoesteriksi alkoholissa. Booritrikloridilla on vahva reaktiokyky ja se voi muodostaa erilaisia koordinointiyhdisteitä. Booritrikloridi voi reagoida lasin ja keraamisen kanssa lämmitettäessä, ja se reagoi myös monien orgaanisten yhdisteiden kanssa monenlaisten organobooroniyhdisteiden muodostamiseksi. Korkeaa puhtautta boori11 -trikloridia käytetään pääasiassa diffuusio -dopingiin (pii) puolijohdealaitteiden valmistusprosessissa. Boorin epäpuhtaudet syntyy hajottamalla BCL 3 ja diffuusi piitä kohti P-tyypin puolijohteen muodostamiseksi korkeassa lämpötilassa. BCL 3: ta voidaan käyttää myös AL: n, MOSI 2: n , TASI 2: n , TISI 2: n , WSI: n ja muiden materiaalien kuivaan etsaukseen .
Laatumääritys
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Soveltaminen
Booritrikloridia voidaan käyttää korkean puhtaan boorin, katalyytin valmistukseen orgaaniselle synteesille, fluxing -aineen hajoamiseen, ja sitä käytettiin myös deoksidizerin, nitridien ja karbidien lisäaineena seoksen hienosäätössä. Korkeaa puhdasta booria11 -trikloridia käytetään pääasiassa diffuusio -dopingissa, ionin implantoinnissa, kuivassa syövytyksessä ja muissa puolijohdelaitteiden ja integroidun piirinvalmistuksen prosesseissa.
Pakkaus ja säilytys
Boron11 -trikloridi täytetään sylinterissä. Boron11 -trikloridilla täytetty sylinteri on GB14193: n asiaankuuluvien määräysten mukainen. Pakkausvaatimukset sisältävät 10L ja 47L. tuote säilytetään varjoisassa, kuivassa ja tuuletetussa varastossa alle 60 ℃ . On kielletty altistaa aurinko ja pitää poissa lämpölähteistä. Pakkaus on suljettava ja se on säilytettävä erikseen alkalilla ja muilla vaarallisilla esineillä.
Contact Now
